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Scarico delle pompe da vuoto

Posted on Author Mezishura Posted in Rete

  1. Pompe per alto vuoto a vite a secco BDRY
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  3. Pompa per vuoto rotativa

Sovrappressione nello scarico della pompa. Le cause più comuni sono un bloccaggio o una restrizione nel sistema di scarico. Tutte le pompe del vuoto si. Una pompa per vuoto rotativa è un tipo particolare di pompa a vuoto di tipo meccanico. La maggioranza delle pompe lubrificate a goccia raggiunge un vuoto attorno a Le pompe rotative sono costituite da un rotore provvisto di palette mobili che di volume consentendo ai gas di essere espulsi dal manicotto di scarico. La pressione di scarico dei gas compressi deve essere più elevata della pressione atmosferica, per cui sono necessari rapporti di compressione molto grandi (dell. La riserva di olio si trova sul lato di mandata della pompa per vuoto. (=alta pressione) sul fondo l Assicurarsi che il bochello di aspirazione e lo scarico del gas siano razione, se il volume del sistema del vuoto è grande abbastanza da ria-.

Nome: scarico delle pompe da vuoto
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Si tratta di un'innovazione importante nella progettazione di depressori come le macchine per vuoto industriali. Prodotto finale con la pompa del vuoto Saurus Potente e resistente, performante, e anche assolutamente sicura: Saurus offre la massima sicurezza dell'intero processo e la totale purezza del prodotto finale, sempre.

In poche parole, Saurus vacum pump garantisce il vuoto incontaminato. Lo certifica il Dipartimento di Scienza dei Materiali e Ingegneria Chimica del Politecnico di Torino, con studi specifici condotti su un intero processo di essiccamento sotto vuoto con macchina del vuoto Saurus Il risultato del procedimento è di altissima qualità: con le pompe vuoto di Italvacuum il prodotto finale è assolutamente puro e privo di rischi di contaminazione da olio per il processo.

Risultato prodotto al termine del processo di essiccamento sotto vuoto La qualità delle pompe per vuoto Saurus La qualità superiore è il miglior investimento possibile, e un buon investimento ripaga sempre con risultati concreti.

Per ridurre il rischio derivante da una fonte di accensione, il progettista dovrà ridurre la temperatura di tale superficie o assicurare che gli eventuali vapori infiammabili non possano venirne a contatto. In pratica, tuttavia, Ë normalmente necessario progettare il sistema per pressioni interne superiori a quella atmosferica.

Se necessario si dovranno incorporare dispositivi per lo sfogo della pressione e evitare che la pressione salga oltre certi limiti. E' importante che le tubazioni e gli altri componenti di ingresso non diventino la parte pi debole del sistema: si deve presumere che essi funzioneranno sempre sotto depressione, anche in caso di guasti.

Il sistema di scarico deve venire sempre progettato in modo da offrire la pi bassa contropressione possibile. E' importante, tuttavia, progettare il sistema di scarico con una adeguata resistenza alla pressione. Dovrà essere idoneo alle pressioni generate dalla pompa e dall'introduzione nel sistema di gas compressi, nonchÈ essere adatto per l'uso con i dipositivi di protezione dalla sovrapressione impiegati.

Durante l'analisi dei pericoli si dovrà sempre considerare quanto segue: ingressi esterni come per esempio collegamenti per gas inerti restrizioni e bloccaggi di tutti i tipi, specialmente nelle tubazioni di scarico eventuali reazioni tra i gas di processo Eliminazione di volumi stagnanti Si definisce volume stagnante un qualsiasi volume chiuso in una tubazione o in un componente del vuoto in cui non si verifica alcun passaggio di gas, come per esempio la scatola degli ingranaggi di una pompa booster meccanica o la tubazione di collegamento di uno strumento.

Tubazioni varie e di alimentazione dell'azoto possono anche diventare volumi stagnati quando isolate con le apposite valvole. Si deve tenere conto di questi volumi stagnanti quando si considera la miscela e la reazione di gas di processo che normalmente non sono presenti assieme nella camera di processo. Le tubazioni, le pompe e camere di processo generalmente trasportano i gas per cosÏ dire linearmente, vale a dire un gas, o una miscela di gas, uno dopo l'altro.

I gas trasportati in tale flusso lineare normalmente non si mischiano a meno che la velocità di scarico si riduca per via di una restrizione o di un bloccaggio.

Dato che non vengono spurgati, i volumi stagnanti possono riempirsi con i gas di processo in seguito alle oscillazioni di pressione nel sistema.

In tal modo nei volumi stagnanti possono rimanere i gas che passano nel sistema ad uno stadio del processo, gas che potranno reagire con i gas di una succesiva fase del processo.

Pompe per alto vuoto a vite a secco BDRY

Per eliminare il rischio di esplosioni, occorrerà spurgare tali volumi stagnanti tra un gas e l'altro, qualora questi siano incompatibili. Si dovrà porre la massima attenzione alla contaminazione incrociata di volumi stagnanti qualora la pressione sia relativamente alta vicino a quella atmosferica e i gas potenzialmente esplosivi.

In particolare si dovrà considerare il pericolo di accumulo di gas in filtri e separatori. Per ridurre il rischio di contaminazione incrociata, usare, se appropriato, un elevato flusso continuo di gas inerte di lavaggio. Sistemi di estrazione di scarico E' importante usare un sistema di estrazione di scarico di tipo corretto per il proprio processo. Come detto precedentemente, il sistema di estrazione deve venire progettato per resistere alle pressioni di esercizio e, qualora si producano o trattino sostanze pericolose, dovrà essere sufficientemente a tenuta per contenere i materiali di processo e i loro sottoprodotti.

Sistemi di diluizione a gas Questo metodo di protezione si basa sul principio di miscelare un gas inerte normalmente azoto con i gas di processo in modo da diluirli ad una concentrazione alla quale non si possano verificare esplosioni o reazioni. Se si usa la diluizione a gas come sistema primario di sicurezza per proteggere il sistema dalle esplosioni, si dovrà usare un sistema di allarme e di interblocco di elevata affidabilità per bloccare il funzionamento dell'impianto di processo qualora il sistema di diluizione a gas non funzioni.

Quando si calcola la concentrazione di diluizione necessaria per dei materiali potenzialmente esplosivi, si deve usare un quarto del limite inferiore di esplosione del materiale invece che il limite superiore. Se si mantiene il rapporto di diluizione che riduce la concentrazione delle sostanze esplosive di un quarto al di sotto del limite di esplosione inferiore, nel sistema di processo si mantiene una miscela sicura anche nel caso di fughe dal sistema.

Si dovrà tuttavia controllare tale valore con il fornitore della sostanza in questione. Occorre quindi provare la tenuta del sistema dopo l'installazione, per ridurre il rischio di perdite. SOMMARIO - progettazione del sistema Ci sono diversi punti chiave che si devono osservare per la progettazione di sistemi del vuoto sicuri: Se si pompano sostanze pericolose, si dovrà progettare il sistema in modo che in caso di avaria vada automaticamente in condizioni non pericolose.

In presenza di ossidanti, per le pompe rotative impiegare lubrificanti perfluoropolieteri. Assicurare che i gas infiammabili siano diluiti da un gas inerte alla concentrazione inferiore a un quarto del limite inferiore di esplosione del gas. Prima dell'uso controllare la tenuta del sistema e delle apparecchiature. Prima di scaricarli nell'atmosfera o miscelarli con gas ossidanti, diluire i gas piroforici a livello di sicurezza con gas inerte.

Si dovranno sempre consultare le informazioni di sicurezza fornite con le sostanze che si intendono pompare. Considerare l'impiego di pompe Drystar in preferenza a pompe rotative a palette con tenuta a olio qualora si vogliano evitare problemi dovuti alla presenza di olio nella camera di pompaggio.

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Scelta delle apparecchiature del sistema. Il valore i questa pressione dipende dalla costruzione meccanica della pompa. Le pompe rotative sono previste per il funzionamento con pressioni di ingresso inferiori o al massimo uguali alla pressione atmosferica e, sebbene la pressione statica massima potrà essere superiore alla pressione atmosferica, durante il funzionamento la pressione di ingresso massima non deve superare la pressione atmosferica.

Alcuni costruttori limitano la pressione di ingresso continua massima delle loro pompe a valori inferiori alla pressione atmosferica. La pressione di ingresso massima con pompa in funzione si definisce pressione di esercizio massima. La ragione per la limitazione della pressione di esercizio massima non Ë necessariamente correlata alla resistenza meccanica della pompa.

La pressione massima è normalmente proporzionale alla potenza della pompa ad elevate pressioni di ingresso e dipende dai pericoli potenziali di surriscaldamento dei componenti meccanici della pompa o del motore elettrico.

Per ragioni analoghe si raccomanda pertanto di mantenere la pressione di uscita della pompa del vuoto pi bassa tipicamente inferiore a 4 psig per funzionamento continuo. Le pompe sono previste per funzionare con scarico libero e pertanto una pressione di uscita di 4 psig è sufficiente per far passare i gas di scarico attraverso il sistema di estrazione ed eventuali apparecchiature di depurazione e trattamento.

La progettazione di tubazioni Giunti a soffietto - Si tratta di brevi giunti a pareti sottili e ondulate. Si usano per ridurre la trasmissione di vibrazioni dalla pompa al sistema del vuoto. Montare sempre questi giunti a soffietto in linea retta, con entrambe le estremità fissate rigidamente. Se montati correttamente, possono resistere a piccole pressioni interne positive. Non usare giunti a soffietto dal lato dello scarico delle pompe a secco.

Tubi piegabili rinforzati con maglia d'acciai - Si tratta di tubi flessibili a soffietto con protezione esterna in maglia di acciaio inossidabile che si possono facilmente piegare durante l'installazione.

Sono adatti per uso lato dello scarico di pompe a secco e altre applicazioni con notevoli pulsazioni di flusso o possibilità di elevate pressioni.

Questi tubi piegabili sono intesi per uso statico; non sono cioË idonei a ripetute flessioni poichè potrebbero rompersi. Durante l'installazione di questi tubi si dovrà rispettare il raggio di curvatura minimo indicato nelle istruzioni fornite con i tubi.

Tubi piegabili - Presentano uno spessore di parete maggiore e ondulazioni meno profonde dei giunti a soffietto. Costituiscono un metodo conveniente per il collegamento di componenti del sistema del vuoto, compensano i disallineamenti e permettono piccoli movimenti in tubazioni del vuoto rigide.

Questi tubi sono previsti per il monitoraggio in sistemai statici. Non adatti per flessioni ripetute poichÈ potrebbero causare rotture. Con questi tubi usare la lunghezza minima necessaria ad evitare curve inutili.

Non usarli dal lato dello scarico di pompe a secco. Punti di ancoraggio - Ancorare e fissare correttamente le tubazioni e i componenti montati su di esse. Per esempio, se i giunti a soffietto non vengono ancorati correttamente, non solo non saranno i grado di ridurre le vibrazioni generate dalla pompa ma potranno anche subire delle fratture.

Protezione fisica da sovrapressioni Si possono verificare sovrapressioni in seguito a una restrizione o a un blocco nel sistema o nei suoi componenti come pure in seguito a del gas compresso proveniente dalla pompa o alimentato dall'esterno come per esempio nel caso di sistemi di diluizione. Per la protezione del sistema dalle sovrapressioni ci sono due metodi principali.

Dispositivi di sfogo di pressione Si possono usare membrane di rottura o valvole di sicurezza. La pressione di funzionamento del dispositivo deve essere inferiore alla pressione di disegno del sistema.

Questi dispositivi vanno collegato con una tubazione adatta a zone in cui non si abbiano restrizioni di scarico. Se il processo produce sottoprodotti, questi dispositivi di sicurezza vanno ispezionati regolarmente per accertarsi che non siano bloccati o ristretti. E' raccomandato per qualsiasi sistema, ma Ë particolarmente adatto per sistemi che generano sottoprodotti solidi.

Si raccomanda pertanto di usare un sensore con lavaggio di azoto in corrispondenza del punto di collegamento. Il flusso di azoto mantiene il collegamento libero e inoltre, in caso di bloccaggio, la pressione dell'azoto salirà abbastanza per azionare l'allarme e l'arresto automatico. Quando si raggiunge la pressione di arresto automatico, il sistema di controllo dovrà arrestare sia la pompe che l'eventuale immissione di gas se in grado di pressurizzare il sistema oltre la pressione di esercizio massima ammissibile.

Regolatori di pressione Ci sono due tipi principali di regolatori di pressione, con e senza sfogo. Per mantenere costante la pressione di uscita in assenza di flusso, i regolatori con sfogo scaricano il gas in atmosfera o in una tubazione di sfogo separata.

Per via dello sfogo, tali regolatori non sono normalmente usati nella produzione di semiconduttori ove l'integrità delle tubazioni è di importanza fondamentale. La velocità di salita della pressione dipende dalle caratteristiche del regolatore e dal volume a cui la sua uscita Ë collegata: il tempo di raggiungimento della pressione di alimentazione potrà variare da alcuni minuti a diversi mesi.

I regolatori di pressione non sono previsti per funzionare coma valvola di intercettazione e pertanto se Ë necessario l'isolamento devono venire impiegati assieme a dispositivi adatti come per esempio una elettrovalvola ; altrimenti si devono prendere provvedimenti per scaricare l'eccesso di pressione. Dispositivi di sfogo pressione in seguito ad esplosione Per certe applicazioni si potrà considerare di dotare il sistema con un dispositivo per lo sfogo della pressione risultante in seguito ad esplosione, come comunemente si fa nelle industrie di processo.

Il tipo di dispositivo pi comune Ë costituito da una membrana a rottura che fa passare i prodotti dell'esplosione in un apposito condotto per sfogo in area sicura. Si possono pure usare valvole di sicurezza, ma queste presentano lo svantaggio di una minore affidabilità.

La velocità di salita della pressione, come pure la pressione massima di esplosione, costituiscono un importante fattore per stabilire il rapporto tra la pressione di disegno del sistema, il volume del sistema, il valore della pressione di sfogo e il volume di sfogo. I dispositivi di sfogo della pressione di esplosione normalmente non sono usati nel settore della produzione di semiconduttori per le seguenti ragioni: La grande superficie del sistema e le basse pressioni disponibili per il funzionamento del dispositivo La bassa affidabilità e l'elevata frequenza di ispezione necessaria per membrane a rottura o valvole di sicurezza in sistemi in cui esistono o si possono condensare sottoprodotti solidi.

La velocità di aspirazione è estremamente limitata in quanto, il volume, che viene messo in movimento nell'unità di tempo e che determina la velocità della pompa, è chiaramente molto piccolo.

Pompe secondarie[ modifica ] Sono le pompe che funzionano a partire da un certo vuoto e quindi necessitano di un primo stadio di pompaggio mediante una pompa primaria. Vi sono due grandi categorie le pompe cinetiche che sfruttano la proprietà cinetiche delle pareti per asportare il gas e le pompe ad intrappolamento.

Pompe Cinetiche[ modifica ] Il primo tipo di queste pompe viene chiamato spesso a trasferimento di quantità di moto, le molecole del gas sono trascinate dal lato sotto vuoto al lato di scarico che è mantenuto a pressione inferiore a quella atmosferica da una pompa primaria mediante il trasferimento di impulso che agisce singolarmente sulle molecole del gas.

Pompa per vuoto rotativa

Questa modalità di pompaggio è possibile solo al di sotto qualche mbar, cioè in condizioni di vuoto molecolare. La velocità di aspirazione di una pompa cinetica è spesso ordini di grandezza maggiore di una pompa primaria, ma lavorando a pressioni inferiori la quantità di materia asportata è in realtà generalmente bassa. Il problema principale del regime di lavoro è il flusso indietro backstreaming sempre presente.

Non esiste, a causa del meccanismo di funzionamento, nessun tipo di ostacolo valvola , se non la dinamica di aspirazione tra il vuoto e lo scarico. Le pompe a trasferimento di quantità di moto sono più efficaci per alcuni gas che per altri.

A causa di tale selettività la composizione del gas residuo nella camera da vuoto è diversa dalla composizione dei gas di partenza.

Le pompe in regime molecolare agiscono su una superficie molto maggiore delle pompe primarie al fine di avere una alta velocità di pompaggio. Non vi è nessuna guarnizione tra l'uscita e l'ingresso. A causa di un fenomeno di questo tipo la pompa va in blocco. In alto vuoto. Pompe a diffusione[ modifica ] Pompa a diffusione Nelle pompe a diffusione si utilizza un getto di molecole sotto forma di vapore che ha la funzione di trasferire per urto quantità di moto alle molecole del gas da espellere.

Nelle prime pompe venivano usati vapori di mercurio, in seguito sostituito con olio con bassa tensione di vapore. L'olio alla base della pompa viene scaldato e portato in ebollizione. Le molecole del gas che incontrano le molecole di vapore subiscono un'accelerazione verso la base della pompa dove è presente l'ingresso di una pompa meccanica che assicura il pre-vuoto condizione necessaria per il funzionamento della pompa a diffusione.


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